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1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

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1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)伍恼,提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境槽叮,應(yīng)用在半導(dǎo)體磷像、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域津贩,此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝邦匆,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試尝江、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長涉波、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗。 優(yōu)點 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成炭序,溫場均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
啟動電爐啤覆,排溫風(fēng)機同時自動運行,試驗結(jié)束后惭聂,排溫風(fēng)機將繼續(xù)運行窗声,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機自行停止辜纲,有效保護了爐體表面
爐門開啟自動斷電嫌佑、超溫保護功能、漏電保護功能侨歉,以確保使用的安全性 安全性 過升報警、菜單鎖定揩魂、過升防止幽邓、復(fù)電延時。
采用單向閥技術(shù)火脉,使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制核必,安全。
采用混氣罐裝置品糯,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)荒鳖,確保不會泄露。
■ 產(chǎn)品特點

提供具有真空蛔交、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境末昂,應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)镐访、等纖維等領(lǐng)域

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝二蚓,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試限榆、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長停就、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗始踪。

爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上

自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

啟動電爐颈癌,排溫風(fēng)機同時自動運行洁糟,試驗結(jié)束后,排溫風(fēng)機將繼續(xù)運行猖败,直至爐體溫度低于60℃速缆,排溫風(fēng)機自行停止,有效保護了爐體表面

爐門開啟自動斷電辙浑、超溫保護功能激涤、漏電保護功能,以確保使用的安全性

電路采用連續(xù)加熱輸出方式判呕,雙回路供電倦踢,強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率,避免了感應(yīng)電對控制信號的干擾

操作按鍵選用低壓金屬按鈕侠草,自帶狀態(tài)指示燈辱挥,操作安全直觀

上下爐體采用航空插頭連接方式,連接安全方便

氣路總成采用食品級316不銹鋼制成边涕,具有耐蝕性晤碘,耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好,無磁性

采用數(shù)顯流量顯示儀功蜓,配合質(zhì)量流量控制器园爷,采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復(fù)性好丑辖,相應(yīng)速度快卷芜,穩(wěn)定等特點。(氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng))

自動控制與手動控制切換功能咏编,自動控制模式能通過設(shè)定值自動開啟/關(guān)閉真空泵元粹,使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵理侄。以滿足不同實驗的需要勺激。(中真空控制系統(tǒng))

電磁閥緩啟動技術(shù),使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開限牢,使爐管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準確捎滴,也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果(中真空控制系統(tǒng))

■安全性:

過升報警、菜單鎖定搞吱、過升防止援儡、復(fù)電延時。

采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制酿装,保證安全访递。

采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)同辣,確保不會泄露拷姿。


■ 技術(shù)參數(shù)
溫區(qū)單溫區(qū)雙溫區(qū)
 型號 CVD-TF16P50 CVD-TF16P60CVD-TF16P80 CVD-TF16P100 CVD-TF16P60SCVD-TF16P80SCVD-TF16P100S
CVD-TF16T50CVD-TF16T60CVD-TF16T80CVD-TF16T100CVD-TF16P60SCVD-TF16T80SCVD-TF16T100S
性能 使用溫度范圍 300~1600
溫度分辨率 1
控溫 ± 1
 升溫速率 0~20/min
 加熱區(qū)長度260mm  600mm
恒溫區(qū)長度120mm300mm
真空度-0.1MPa
空爐升溫時間15min
  構(gòu)成 外裝 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
爐膛體 多晶莫來石纖維
爐膛尺寸  440*390*330 780*390*330
 爐管剛玉管       
 爐管尺寸 φ50*1000φ60*1000φ80*1000φ100*1000φ60*1200φ80*1200φ100*1200
加熱器 硅鉬棒
加熱功率 4KW 4KW 10KW10KW
斷熱層雙層強制風(fēng)導(dǎo)流
  控制  控制器  P:進口程序控溫數(shù)碼顯示旱函;   T7寸彩色觸摸屏程序控溫
 控制方式 使用微型電腦PID控制 / S型雙溫區(qū)單獨控溫
 設(shè)定方式  P:輕觸五按鍵動作响巢、數(shù)顯設(shè)定;   T:手指觸摸輕點設(shè)定
 顯示方式 P:雙行LED數(shù)字顯示棒妨;   T:彩色液晶屏顯示
 定時 0~999.9小時
 運行功能  定值運行踪古、程序運行
 程序模式  P:程序運行、4條曲線券腔、共40步伏穆;    T50 可調(diào)用儲存程序
 傳感器  S型熱電偶
附屬功能P:校正功能;     T:校正功能纷纫、實時曲線記錄枕扫、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全裝置過流漏電保護開關(guān)過流保護開關(guān)
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)氣路數(shù)量3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
流量范圍0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準
精度±1%F.S
響應(yīng)時間≤4s
工作溫度(流量計)5-45
工作壓力進氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管辱魁、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
中真空系統(tǒng)真空范圍10-100Pa
控制系統(tǒng)真空泵雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa燥颠,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器轨赦,額定電壓200V睛赁,功率0.55Kw

CVD系統(tǒng)配置1600度真空管式爐(可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū))       多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)        真空系統(tǒng)


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