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1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

CVD-TF14P40/50/60/80 CVD-TF14T40/50/60/80
此CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝者疤,如碳化硅鍍膜福澡、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長驹马、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗革砸。 優(yōu)點 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
自動斷電糯累、超溫保護功能算利、漏電保護功能,以確保使用的安全性…… 安全性 過升報警寇蚊、菜單鎖定笔时、過升防止、復電延時厕斩。
采用單向閥技術辨头,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全翠冻。
……
■ 產品特點

提供具有真空曙早、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜纪闽、陶瓷基片導電率測試邻冷、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗委勤。

產品性能:

1妆跌、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上

2宴甩、空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

3证账、啟動電爐,排溫風機同時自動運行沾尔,試驗結束后除踱,排溫風機將繼續(xù)運行,直至爐體溫度低于60℃吩抓,排溫風機自行停止涉茧,有效保護了爐體表面

4、自動斷電疹娶、超溫保護功能伴栓、漏電保護功能,以確保使用的安全性

5雨饺、電路采用連續(xù)加熱輸出方式挣饥,雙回路供電,強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

6沛膳、加熱模塊采用直流信號調節(jié)輸出功率扔枫,避免了感應電對控制信號的干擾

7汛聚、自動補償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響,避免人為調節(jié)的不準確性和危險性

8短荐、采用數(shù)顯流量顯示儀倚舀,配合質量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量忍宋。重復性好将囱,相應速度快,穩(wěn)定等特點移良。(氣體質量流量控制系統(tǒng))

9挖榜、自動控制與手動控制切換功能,自動控制模式能通過設定值自動開啟/關閉真空泵辰稽,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內挣傻。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要爷瓜。(中真空控制系統(tǒng))

10電磁閥緩啟動技術棵欧,使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使爐管內系統(tǒng)壓力保持準確享偎,也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果(中真空控制系統(tǒng))

安全性:

1运荸、過升報警、菜單鎖定漏匹、過升防止吩擒、復電延時。

2硫朦、采用單向閥技術贷腕,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全阵幸。

3花履、采用混氣罐裝置芽世,使氣體可以在充分混合后導入工作室內挚赊,確保不會泄露。


■ 技術參數(shù)
型號單溫區(qū)CVD-TF14P40CVD-TF14P50CVD-TF14P60CVD-TF14P80

單溫區(qū)CVD-TF14T40CVD-TF14T50CVD-TF14T60CVD-TF14T80
性能使用溫度范圍300~1400
溫度分辨率1℃
控溫± 1
升溫速率0~20℃/min
加熱區(qū)長度200mm400mm
恒溫區(qū)長度70mm140mm
真空度-0.1MPa
空爐升溫時間15min

配置爐管時升溫速度500℃以下≤5/min济瓢;500-100010/min荠割;1000-12005/min1000-14002/min
構成外裝冷軋鋼板旺矾,表面耐藥品性涂裝
爐膛體多晶莫來石纖維
爐膛尺寸360*350*350mm560*350*350mm
爐管剛玉管
爐管尺寸Φ40/34*1000Φ50/44*1000Φ60/50*1000Φ80/70*1000
加熱器硅碳棒
加熱功率3KW5KW
斷熱層雙層強制風導流
打開方式
控制 器控制器P:進口程序控溫數(shù)碼顯示蔑鹦;   T:7寸彩色觸摸屏程序控溫
控制方式使用微型電腦PID控制
設定方式P:輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設定箕宙;   T:手指觸摸輕點設定
顯示方式P:雙行LED數(shù)字顯示嚎朽;   T:彩色液晶屏顯示
定時0~999.9小時
運行功能定值運行铺纽、程序運行
程序模式P:程序運行、4條曲線哟忍、共40步诫瑞;    T:50步 可調用儲存程序
傳感器S型熱電偶
附屬功能P:校正功能;     T:校正功能融确、實時曲線記錄喘玄、U盤數(shù)據(jù)導出
安全裝置過流漏電保護開關
質量流量控制系統(tǒng)氣路數(shù)量3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
流量范圍0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準
精度±1%F.S
響應時間≤4s
工作溫度(流量計)5-45
工作壓力進氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管醒横、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
中真空控制系統(tǒng)系統(tǒng)真空范圍10-100Pa
真空泵雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa蝗悼,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器禁舌,額定電壓200V出募,功率0.55Kw
CVD系統(tǒng)配置1400度真空管式爐       多路質量流量控制系統(tǒng)        真空系統(tǒng)


上一個:1200℃開啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)下一個:1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)
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